基于COMSOL的皮秒激光单脉冲烧蚀铜片研究

来源
激光与光电子学进展
页码
1-13
机构
南京农业大学工学院;
作者
纪利平;宋梓钰;孙亚萍;王兴盛;李成玉;
摘要
为了研究单脉冲皮秒激光对铜片烧蚀结果的影响,利用COMSOL多物理场仿真软件建立铜片双温模型。用控制变量的方法,模拟计算光斑半径及入射激光能量对电子系统温度及晶格系统温度的影响,预测烧蚀形貌。模拟计算结果表明:在单脉冲激光照射下,光斑半径越大,烧蚀深度越小,面积越大;入射激光能量越高,烧蚀深度越大,面积越大。实验与仿真对照进一步验证仿真的可靠性。
关键词
COMSOL仿真;激光加工;双温模型;温度场

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