HERZ主动隔振台成功为STM/SEM隔振

HERZ主动隔振台成功为STM/SEM隔振 近日,我司工程师赴上海及遵义为客户安装调试扫描隧道显微镜(STM)和扫描电镜(SEM)的隔振,经过HERZ AVI 200隔振后,STM和SEM方可正常运行,放大倍数达到20-30万倍,极大地提高了其图像的稳定性,客户对此深表满意。HERZ的AVI 200主动隔振台是一款紧凑型、模块化的六自由度隔振系统,用于抵消工作环境对灵敏度高的精密设备产生的不必要振动,以提高精密设备的性能,具有卓越的性能及通用性。该隔振台的主动隔振频率为 0.5Hz - 200Hz,被动隔振
[关键词] 厂商;检测;仪器

HERZ主动隔振台成功为STM/SEM隔振

 

近日,我司工程师赴上海及遵义为客户安装调试扫描隧道显微镜(STM)和扫描电镜(SEM)的隔振,经过HERZ AVI 200隔振后,STM和SEM方可正常运行,放大倍数达到20-30万倍,极大地提高了其图像的稳定性,客户对此深表满意。

 

HERZ的AVI 200主动隔振台是一款紧凑型、模块化的六自由度隔振系统,用于抵消工作环境对灵敏度高的精密设备产生的不必要振动,以提高精密设备的性能,具有卓越的性能及通用性。该隔振台的主动隔振频率为 0.5Hz - 200Hz,被动隔振频率>200Hz,其能够整合到现有的需要低频隔振的设备中,主动检测输入振动并动态消除;允许自由选择整个系统的尺寸和配置,可通过增加隔振模块的数量来支持更大的仪器载重量。安装简单,易操作,稳定性高,能无故障连续使用多年。

 

图1-1,图1-2,图1-3为我司工程师为上海客户的STM 隔振现场图;




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